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新能源

光伏太陽能、動力電池生產對超純水用量極大,因此系統具有產水量大、出水質量高、系統穩定,水質要求≥17MΩ*cm(25℃)

太陽能電池片的生產工藝流程分為硅片檢測--表面制絨及酸洗--擴散制結--去磷硅玻璃--等離子刻蝕及酸洗--鍍減反射膜--絲網印刷--快速燒結等。在去磷硅玻璃工藝用于太陽能電池片生產制造過程中,通過化學腐蝕法也即把硅片放在氫氟酸溶液中浸泡,使其產生化學反應生成可溶性的絡和物六氟硅酸,以去除擴散制結后在硅片表面形成的一層磷硅玻璃。在擴散過程中,POCL3與O2反應生成P2O5淀積在硅片表面。P2O5與Si反應又生成SiO2和磷原子,這樣就在硅片表面形成一層含有磷元素的SiO2,稱之為磷硅玻璃。去磷硅玻璃的設備一般由本體、清洗槽、伺服驅動系統、機械臂、電氣控制系統和自動配酸系統等部分組成,主要動力源有氫氟酸、氮氣、壓縮空氣、純水,熱排風和廢水。氫氟酸能夠溶解二氧化硅是因為氫氟酸與二氧化硅反應生成易揮發的四氟化硅氣體。若氫氟酸過量,反應生成的四氟化硅會進一步與氫氟酸反應生成可溶性的絡和物六氟硅酸。 太陽能電池片清洗用水工藝流程:石英砂過濾器+活性炭過濾器+一級反滲透+二級反滲透+EDI系統+拋光混床系統

多晶硅超純水工藝流程圖

多晶硅、單晶硅清洗用水工藝比較

目前制備電子工業用超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來?,F將他們的優缺點分別列于下面:

設備優點
  • 第一種 采用離子交換樹脂

    其優點在于初投資少,占用的地方少,但缺點就是需要經常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環境有一定的破壞。

    但缺點就是需要經常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環境有一定的破壞。

  • 第二種 采用反滲透作為預處理再配上離子交換

    其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高

    但離子再生周期相對要長,耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環境還是有一定的破壞性。

  • 第三種 采用反滲透作預處理
    再配上電去離子(EDI)裝置

    這是目前制取超純水最經濟,最環保用來制取超純水的工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水,對環境沒什么破壞性。

    其缺點在于初投資相對以上兩種方式稍貴一點。

技術要求

超純水專用膜

采用膜表面高分子嫁接技術,產水TOC在20PPB以下,更適用電子級超純水系統。
高TOC脫除率、高抗污染能力、低TOC溶出率,TOC達標沖洗時間短、先進配套電源技術,能耗更低。

電去離子技術

離子交換樹脂再生不需要使用昂貴且有危害的化學品,降低了能源和運行費用、設施的大小要求。
采用新型均勻樹脂包填充,有效提高脫鹽率。

水質標準

1、ASTM-D5127-2007《美國電子學和半導體工業用超純水標準》

2、歐盟電子級超純水標準

3、中國電子工業國家標準

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